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伯東 KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術參數:
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portant;">
型號 |
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RFICP 140 |
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Discharge |
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RFICP 射頻 |
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portant;">
離子束流 |
portant;">
>600 mA |
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portant;">
離子動能 |
portant;">
100-1200 V |
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portant;">
柵極直徑 |
portant;">
14 cm Φ |
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離子束 |
portant;">
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
portant;">
5-30 sccm |
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portant;">
通氣 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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portant;">
典型壓力 |
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< 0.5m Torr |
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長度 |
portant;">
24.6 cm |
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直徑 |
portant;">
24.6 cm |
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中和器 |
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LFN 2000 |
運行結果:
KRI考夫曼射頻離子源 RFICP140 可控性強, 制備工藝簡單, 具有較強的商業價值.
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
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