光氧廢氣處理設備的結構主要包括以下幾個部分：

1. 微波發生器和離子臭氧發生器
微波發生器和離子臭氧發生器是光氧催化廢氣處理設備的重要組成部分，它們共同作用于廢氣，使得有機氣體的分子鍵得到裂解和分解，從而實現廢氣的凈化。

2. 控制箱
控制箱是設備的中樞神經系統，它負責控制設備的各項運行參數，確保設備的正常運行。

3. 中效過濾
中效過濾主要用于去除廢氣中的懸浮顆粒，這些顆粒物質往往是異、臭味的一部分來源。

4. 二氧化鈦光觸媒和外箱體
二氧化鈦光觸媒是在紫外線光束照射下能夠產生化學活性的材料，它與外箱體共同構成了光觸媒氧化室。在外箱體內，高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體的分子鍵，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

5. 后端風機和煙囪
后端風機負責提供廢氣排放所需的動力，并克服凈化裝置的阻力。經過處理的廢氣通過15m煙囪安全、達標的排放到大氣中。

6. 殼體部分
殼體部分包括凈化室、分室隔板、檢修門及不銹鋼殼體結構，它為設備的各種部件提供了安裝空間，同時也方便設備的安裝、運輸。

7. 粗過濾和吸附室
粗過濾是對廢氣進行初步過濾的過程，可以去除廢氣中的懸浮顆粒。吸附室則采用了納米催化材料粉體附載的纖維吸附層，可以進一步吸附分解有機、無機廢氣，提高廢氣的凈化效率。

8. 電控系統和反應系統
電控系統主要由鎮流器、交流接觸器、控制開關組成，它負責設備的控制和管理。反應系統則由高能UV燈管及光觸媒組成，對設備的凈化效果起著決定性的作用。