PM2.5傳感器是一款采用激光散射原理的車用粉塵傳感器，可精確檢測(cè)并計(jì)算單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個(gè)數(shù)，通過(guò)數(shù)學(xué)算法及科學(xué)標(biāo)定輸出顆粒物質(zhì)量濃度。
PM2.5傳感器平板顯示制程良率受微粒污染和靜電損害影響
以TFT-LCD為代表的顯示面板生產(chǎn)過(guò)程主要有三個(gè)工序Array、Cell和Module，制造程序復(fù)雜，制造過(guò)程中需要進(jìn)行嚴(yán)格的環(huán)境管控，減少對(duì)產(chǎn)品的損害。OLED因其構(gòu)造簡(jiǎn)單，制造流程不像LCD那樣復(fù)雜，但也需要在潔凈環(huán)境中生產(chǎn)。在平板顯示制程中影響產(chǎn)品良率的污染物有很多，包括金屬離子、氣態(tài)分子污染物、微粒、細(xì)菌以及靜電等，其中對(duì)LCD和OLED制程良率影響的是微粒污染和靜電損害。
·微粒污染
隨著器件微型化和精細(xì)化進(jìn)程的加快，高密度的集成電路的圖形特征尺寸和表面沉積層的厚度都已經(jīng)降到微米級(jí)別，更容易受到微粒的影響，基板表面微粒沉積，易引起基板點(diǎn)缺陷甚至線缺陷特性不良，降低良品率。
PM2.5傳感器
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